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マイクロアンジェロ-リソグラフィーとマニピュレーション機能の内蔵
クローズドループ機能により、正確なナノリソグラフィ/ナノマニピュレーションができます。さらに格子状に印加フォースを変えてドットピットを作成したり、一定高度で探針を水平移動することによるスクラッチ等が可能です。
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表面特性定量評価のためのナノインデンターモジュール
従来のAFMカンチレバーによるインデンテーションでは、探針の横ズレのために、高精度の押し込みができませんでした。フレクシャー構造タイプのプローブを考案することにより、この問題をクリアしました。AFMの環境の中でナノインデンテーションができます。
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